[实用新型]应力降低机构

权利要求书

1.一种应力降低机构，用于对柔性膜进行镀膜和降低柔性膜的应力，其特征在于，所述应力降低机构包括：

沿所述柔性膜的输送路径依次设置的放卷装置、主冷辊和收卷装置；所述放卷装置和所述主冷辊之间设置蒸镀装置，用于对所述柔性膜进行加热和镀膜；所述主冷辊和所述收卷装置之间设置等离子装置，用于提供等离子以轰击所述柔性膜。

2.根据权利要求1所述的应力降低机构，其特征在于，所述放卷装置和主冷辊之间还设置有第一过辊和用于展平所述柔性膜的第一弧形辊，所述第一弧形辊和所述第一过辊被配置成经过所述第一过辊和所述第一弧形辊的柔性膜处于水平状态，所述蒸镀装置设置于所述第一过辊和所述第一弧形辊之间。

3.根据权利要求1所述的应力降低机构，其特征在于，所述等离子装置包括两个等离子源，两个所述等离子源分别用于设置于所述柔性膜的两侧。

4.根据权利要求3所述的应力降低机构，其特征在于，所述收卷装置和主冷辊之间还设置有靠近所述主冷辊的第二过辊和靠近所述收卷装置的附辊，所述附辊和所述第二过辊被配置成经过所述第二过辊和所述附辊的柔性膜处于竖直状态，所述两个所述等离子源分别用于设置于竖直状态的所述柔性膜的两侧。

5.根据权利要求1-4任一项所述的应力降低机构，其特征在于，所述蒸镀装置包括蒸发装置和送丝装置，所述蒸发装置设置于所述放卷装置和所述主冷辊之间，所述送丝装置被配置成选择性对所述蒸发装置提供金属源。

6.根据权利要求5所述的应力降低机构，其特征在于，所述送丝装置包括送丝传动轴和金属丝盘，所述送丝传动轴用于将金属丝盘上的所述金属丝输送至所述蒸发装置。