[实用新型]一种集成电路生产用基片涂层烘干箱有效
| 申请号： | 202120324402.2 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN216026003U | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 贾晨旭 | 申请（专利权）人： | 北京联盛盈科科技有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京万思博知识产权代理有限公司 11694 | 代理人： | 范晓斌 |
| 地址： | 101300 北京市顺*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种集成电路生产用基片涂层烘干箱，涉及集成电路生产领域，包括箱体、箱盖、加热件和控制器；箱盖可拆卸设置在箱体上；加热件并列设置多组，多组加热件位于箱体内；还包括上夹持组件和下夹持组件；上夹持组件和下夹持组件一一对应设置，且分别位于每列上加热件的上方和下方。本实用新型设置上夹持组件和下夹持组件配合，基片固定牢固，且夹持面小，方便烘干，保证了基片的品质；设置通风组件对烘干产生的水蒸气进行除湿、回流，一方面降低箱体内的湿度，另一方面实现热空气的再利用，进一步加快烘干的效率和效果；设置密封组件，使得箱盖和箱体贴合紧密，避免热量流失，影响烘干的效率和效果，也提高了设备的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 生产 用基片 涂层 烘干 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京联盛盈科科技有限公司，未经北京联盛盈科科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120324402.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
