[实用新型]一种集成电路生产用基片涂层烘干箱

权利要求书

1.一种集成电路生产用基片涂层烘干箱，包括箱体(1)、箱盖(2)、加热件(3)和控制器(4)；箱盖(2)可拆卸设置在箱体(1)上；加热件(3)并列设置多组，多组加热件(3)位于箱体(1)内；其特征在于，还包括上夹持组件(5)和下夹持组件(6)；上夹持组件(5)和下夹持组件(6)一一对应设置，且分别位于每列上加热件(3)的上方和下方；

上夹持组件(5)包括夹持板(9)、移动件(10)和第一拉紧弹簧(11)；箱盖(2)上设置有导向槽(12)；移动件(10)设置多组，多组移动件(10)分别位于导向槽(12)的两侧，且通过第一拉紧弹簧(11)连接；夹持板(9)的上端伸入导向槽(12)，且与对应侧的移动件(10)连接；

下夹持组件(6)包括支撑筒(13)、第一齿轮(14)、第二齿轮(15)、转轴(16)、伸缩杆(17)、支撑板(18)和旋钮(31)；支撑筒(13)设置在箱体(1)的底端，内部设置有安装槽(20)；转轴(16)转动设置在安装槽(20)内，上端设置有螺纹段；第二齿轮(15)键连接转轴(16)的下端；旋钮(31)的一端转动连接箱体(1)的外壁，另一端伸入安装槽(20)，且与第一齿轮(14)键连接；第一齿轮(14)啮合连接第二齿轮(15)；伸缩杆(17)的下端伸入安装槽(20)，且与转轴(16)螺纹连接，上端连接支撑板(18)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干箱，其特征在于，支撑板(18)上设置有压力感应器(19)。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干箱，其特征在于，箱体(1)上设置有温度感应器和湿度感应器。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干箱，其特征在于，箱体(1)上设置有报警器。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干箱，其特征在于，还包括通风组件(7)；通风组件(7)包括进风管(21)、抽风机(22)、干燥箱(23)、送风机(24)和送风管(25)；进风管(21)设置在箱体(1)的上端，且与抽风机(22)的进风端连通；送风管(25)设置在箱体(1)的下端，且与送风机(24)的出风端连通；干燥箱(23)内填充有干燥剂，且分别与抽风机(22)的出风端、送风机(24)的进风端连通。

6.根据权利要求5所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干箱，其特征在于，干燥箱(23)上设置有分散件；分散件包括驱动电机(26)、搅拌杆(27)和分散桨(28)；通过驱动电机(26)传动的搅拌杆(27)转动设置在干燥箱(23)内；分散桨(28)设置在搅拌杆(27)上。

7.根据权利要求5所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干箱，其特征在于，进风管(21)和送风管(25)均为环形结构。

8.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干箱，其特征在于，加热件(3)包括加热框(29)和安装架(30)；加热框(29)上设置有供基片穿过的空间，且通过安装架(30)连接箱体(1)的内壁。

9.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干箱，其特征在于，还包括密封组件(8)；密封组件(8)包括卡合杆(32)、密封杆(33)和第二拉紧弹簧(34)；箱体(1)上设置有安装孔；箱盖(2)上设置有与安装孔连通的通孔；第二拉紧弹簧(34)设置在安装孔内；卡合杆(32)的下端伸入安装孔，且与第二拉紧弹簧(34)连接，上端穿过通孔，且转动连接有密封杆(33)。

10.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用基片涂层烘干箱，其特征在于，箱体(1)和箱盖(2)的接触面上设置有密封垫(35)。