[实用新型]电源保护电路、电源模块及等离子体化学气相沉积系统有效
| 申请号： | 202120300403.3 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN214314520U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 张宏;李杰;季宇 | 申请（专利权）人： | 成都纽曼和瑞微波技术有限公司 |
| 主分类号： | H02H3/00 | 分类号： | H02H3/00;H02H11/00 |
| 代理公司： | 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394 | 代理人： | 孔鹏 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提出一种电源保护电路、电源模块及等离子体化学气相沉积系统，涉及电源技术领域。该电源保护电路包括相序保护单元和控制器，相序保护单元与控制器电连接，相序保护单元与供电电源电连接，控制器与受控模块电连接；相序保护单元用于采集供电电源的供电电压，并将供电电压传输至控制器；控制器用于判断供电电压是否异常，若供电电压异常，则控制受控模块停止工作。本实用新型提供的电源保护电路和电源模块，具有电路结构简单和可靠性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 电源 保护 电路 电源模块 等离子体 化学 沉积 系统 | ||
【主权项】：
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