[实用新型]电源保护电路、电源模块及等离子体化学气相沉积系统

说明书

本实用新型实施例提出一种电源保护电路、电源模块及等离子体化学气相沉积系统，涉及电源技术领域。该电源保护电路包括相序保护单元和控制器，相序保护单元与控制器电连接，相序保护单元与供电电源电连接，控制器与受控模块电连接；相序保护单元用于采集供电电源的供电电压，并将供电电压传输至控制器；控制器用于判断供电电压是否异常，若供电电压异常，则控制受控模块停止工作。本实用新型提供的电源保护电路和电源模块，具有电路结构简单和可靠性高的优点。

技术领域

本实用新型涉及电源技术领域，具体而言，涉及一种电源保护电路、电源模块及等离子体化学气相沉积系统。

背景技术

目前设备经常因为电源的反接、错接或其他电源故障，导致设备被烧毁。及时现有技术存在着防止反接和错接的电路或结构，但是在遇到其他过流、过压故障时，则还需要额外的检测电路。故现有的电源保护电路过于复杂，且可靠性并不高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电源保护电路、电源模块及等离子体化学气相沉积系统，其具有电路结构简单和可靠性高的优点。

为了实现上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本实用新型实施例提供了一种电源保护电路，包括：相序保护单元和控制器，所述相序保护单元与所述控制器电连接，所述相序保护单元与供电电源电连接，所述控制器与受控模块电连接；

所述相序保护单元用于采集所述供电电源的供电电压，并将所述供电电压传输至所述控制器；

所述控制器用于判断所述供电电压是否异常，若所述供电电压异常，则控制所述受控模块停止工作。

进一步地，所述相序保护单元包括三相继电器，所述三相继电器与所述供电电源和所述控制器均电连接；

所述三相继电器用于采集所述供电电压。

进一步地，所述三相继电器包括第一输入端、第二输入端、第三输入端、第一输出端和第二输出端，所述第一输入端与所述供电电源的第一火线电连接，所述第二输入端与所述第二火线电连接，所述第三输入端与所述第三火线电连接，所述第一输出端和所述第二输出端均与所述控制器电连接。

进一步地，所述控制器为PLC。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种电源模块，包括供电电源和如第一方面所述的电源保护电路。

进一步地，所述电源模块还包括开关单元和电源转换单元，所述开关单元与所述供电电源和所述电源转换单元均电连接，所述电源转换单元与所述控制器电连接；

所述开关单元用于控制是否将所述供电电压传输至所述电源转换单元；

所述电源转换单元用于将所述供电电压转换为工作电压，并将所述工作电压传输至所述控制器。

进一步地，所述开关单元包括第一开关和第二开关，所述第一开关分别与所述供电电源和所述第二开关电连接，所述第二开关与所述电源转换单元电连接；

所述第一开关用于在所述供电电压异常时，处于断开状态，以停止将所述供电电压传输至所述电源转换单元；

所述第二开关用于在所述第一开关处于导通状态时，响应用户操作控制是否将所述供电电压传输至所述电源转换单元。

进一步地，所述第二开关为按键开关。

进一步地，所述第一开关为自动开关。

进一步地，所述电源模块还包括指示单元，所述指示单元与所述供电电源电连接；

所述指示单元用于在所述供电电源提供供电电压时，产生指示信号。