[实用新型]一种机台腔体水温侦测装置有效
| 申请号： | 202120295712.6 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN214040428U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 朱立春;孙晓光 | 申请（专利权）人： | 亦亨电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01K13/02 | 分类号： | G01K13/02;G01K1/14;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海诺衣知识产权代理事务所(普通合伙) 31298 | 代理人： | 衣然 |
| 地址： | 201613 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体设备腔体监测领域，具体公开了一种机台腔体水温侦测装置，包括安装底板、安装座与水温监测结构，所述安装底板呈矩形条状且其中部设有安装孔，安装底板两端一体成型有安装耳，安装耳、安装底板顶端面分别设有第一连接孔、第二连接孔，安装耳外侧设有穿过第一连接孔且将安装底板固定在腔体表面的第一螺栓；所述安装座设于安装底板上方，安装座包括U形底板与两凸耳，两凸耳沿U形底板两端朝向相反方向弯折延伸，U形底板上设有第三连接孔，且该第三连接孔与安装底板上的第二连接孔对应。本实用新型通过安装座、安装架的配合以使监测柱能稳固的装设于安装底板上，安装的可靠性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机台 水温 侦测 装置 | ||
【主权项】：
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