[实用新型]一种机台腔体水温侦测装置有效

专利信息
申请号: 202120295712.6 申请日: 2021-02-02
公开(公告)号: CN214040428U 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 朱立春;孙晓光 申请(专利权)人: 亦亨电子(上海)有限公司
主分类号: G01K13/02 分类号: G01K13/02;G01K1/14;H01L21/67
代理公司: 上海诺衣知识产权代理事务所(普通合伙) 31298 代理人: 衣然
地址: 201613 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 机台 水温 侦测 装置
【权利要求书】:

1.一种机台腔体水温侦测装置,其特征在于,包括安装底板(1)、安装座(2)与水温监测结构,所述安装底板(1)呈矩形条状且其中部设有安装孔(101),安装底板(1)两端一体成型有安装耳(102),安装耳(102)、安装底板(1)顶端面分别设有第一连接孔(103)、第二连接孔(104),安装耳(102)外侧设有穿过第一连接孔(103)且将安装底板(1)固定在腔体表面的第一螺栓(3);所述安装座(2)设于安装底板(1)上方,安装座(2)包括U形底板(201)与两凸耳(202),两凸耳(202)沿U形底板(201)两端朝向相反方向弯折延伸,U形底板(201)上设有第三连接孔(203),且该第三连接孔(203)与安装底板(1)上的第二连接孔(104)对应。

2.根据权利要求1所述的一种机台腔体水温侦测装置,其特征在于:所述水温监测结构包括安装架(4)与监测柱(5),安装架(4)截面呈梯形状,安装架(4)包括安装台(401)以及连接于安装台(401)底端四角处的支脚(402)。

3.根据权利要求1所述的一种机台腔体水温侦测装置,其特征在于:所述凸耳(202)上设有第四连接孔,每一支脚(402)上均设有与第四连接孔对应的第五连接孔,支脚(402)上装设有穿过第四连接孔、第五连接孔并将安装架(4)与安装座(2)连接的第二螺栓(6)。

4.根据权利要求2所述的一种机台腔体水温侦测装置,其特征在于:所述安装架(4)底端面连有监测柱(5),监测柱(5)呈圆柱状且其与安装孔尺寸配合,监测柱(5)底端设有监测点,监测柱(5)可在安装架(4)与安装座(2)连接时伸进安装孔(101)内并与腔体表面接触。

5.根据权利要求2所述的一种机台腔体水温侦测装置,其特征在于:所述安装架(4)侧端设有第三螺栓(7),第三螺栓(7)与第三连接孔(203)对应,第三螺栓(7)可穿过安装架(4)、第三连接孔(203)、第二连接孔(104)并将水温监测结构、安装座(2)、安装底板(1)连接固定。

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