[实用新型]吸盘装置有效
| 申请号: | 202120295146.9 | 申请日: | 2021-02-02 |
| 公开(公告)号: | CN214830777U | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
| 发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟设备技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;张博 |
| 地址: | 710000 陕西省西安市高新区丈*** | 国省代码: | 陕西;61 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本实用新型涉及一种吸盘装置,用于吊装运输石英坩埚,包括吸盘本体,所述吸盘本体用于通过密封垫与石英坩埚密封连接,所述吸盘本体上设置有进气口和出气口,所述出气口上设置有与真空泵连接的真空阀,以将所述吸盘本体和所述石英坩埚形成的腔体抽真空,还包括位于所述密封垫远离所述吸盘本体的一侧的第一压环,和设置于所述第一压环外围的第二压环,所述第一压环和所述第二压环之间具有供石英坩埚的侧壁插入的第一间隙。 | ||
| 搜索关键词: | 吸盘 装置 | ||
【主权项】:
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