[实用新型]吸盘装置

说明书

本实用新型涉及一种吸盘装置，用于吊装运输石英坩埚，包括吸盘本体，所述吸盘本体用于通过密封垫与石英坩埚密封连接，所述吸盘本体上设置有进气口和出气口，所述出气口上设置有与真空泵连接的真空阀，以将所述吸盘本体和所述石英坩埚形成的腔体抽真空，还包括位于所述密封垫远离所述吸盘本体的一侧的第一压环，和设置于所述第一压环外围的第二压环，所述第一压环和所述第二压环之间具有供石英坩埚的侧壁插入的第一间隙。

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚运输领域，尤其涉及一种吸盘装置。

背景技术

随着单晶硅生长设备拉制晶体的直径不断增大，热场尺寸和石英坩埚尺寸也一直在增大，之前拉制8英寸晶体所采用的24英寸石英坩埚的重量大约在 20kg左右，可以通过人工放入真空室的石墨坩埚中，再在其中装入多晶硅料进行单晶生长，但这样装料时容易产生粉尘，对设备和热场产生污染，不适合在洁净间中进行，最主要的是每次需要清洁安装热场的工序完成后才能装入石英坩埚，接着在设备现场进行装料，这样的生产工序极大地影响生产效率的提高。另外，拉制12英寸晶体的32英寸石英坩埚的自重就达到60多kg，投料量一般也在250kg以上，这个重量的搬运和安装已经是人力不能完成的，因此半导体级工艺一般是在装料间中进行装料工序，在设备清理热场的同时，就开始在石英坩埚中根据需求的投料量先装入多晶硅，等热场清洁安装完成，便可从装料间运输到拉晶车间，吊装到硅单晶生长设备的石墨坩埚中，开始后面的生产工序，这样可以大大提高生产效率，而且方便硅料的摆放和清洁。但石英坩埚从装料间到拉晶设备这个过程中就需要一种承载可靠、稳定安全的吊装运输装置来完成满载硅料的石英坩埚的搬运和吊装。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种吸盘装置，解决吊装运输石英坩埚稳定性差的问题。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种吸盘装置，用于吊装运输石英坩埚，包括吸盘本体，所述吸盘本体用于通过密封垫与石英坩埚密封连接，所述吸盘本体上设置有进气口和出气口，所述出气口上设置有与真空泵连接的真空阀，以将所述吸盘本体和所述石英坩埚形成的腔体抽真空，还包括位于所述密封垫远离所述吸盘本体的一侧的第一压环，和设置于所述第一压环外围的第二压环，所述第一压环和所述第二压环之间具有供石英坩埚的侧壁插入的第一间隙。

可选的，所述第二压环沿其周向包括多个间隔设置的连接部，相邻两个所述连接部之间具有第二间隙，相邻两个连接部之间设置有用于调节所述第二间隙的大小的调节结构。

可选的，所述调节结构包括第一卡接部、第二卡接部和将所述第一卡接部和所述第二卡接部连接的锁紧螺栓；

相邻两个所述连接部包括第一连接部和第二连接部，所述第一卡接部设置于所述第一连接部靠近所述第二连接部的一端，且所述第一卡接部向远离所述密封垫的方向延伸，并垂直于所述第一连接部设置，所述第一卡接部上设置有第一通孔；

所述第二卡接部设置于所述第二连接部靠近所述第一连接部的一端，且所述第二卡接部向远离所述密封垫的方向延伸，并垂直于所述第二连接部设置，所述第二卡接部上设置有第二通孔；

所述锁紧螺栓穿过所述第一通孔和所述第二通孔设置，旋紧所述锁紧螺栓能够减小所述第一连接部和所述第二连接部之间的所述第二间隙的大小，反方向旋松所述锁紧螺栓，能够增大所述第一连接部和所述第二子连接之间的所述第二间隙的大小。

可选的，所述吸盘本体用于与石英坩埚连接的连接面上设置有法兰，所述密封垫固定于所述法兰上。

可选的，所述第一压环上设置有第一安装孔，所述密封垫上设置有第二安装孔，所述第一安装孔与所述第二安装孔配合以供螺栓穿过，以固定所述第一压环；

所述第二压环上设置有第三安装孔，所述密封垫上设置有第四安装孔，所述第三安装孔与所述第四安装孔配合以供螺栓穿过，以固定所述第二压环。

可选的，所述第一压环的厚度为10-20mm，所述第二压环的厚度为 10-20mm。