[实用新型]一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置

摘要

本实用新型属于测厚技术领域，尤其为一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，由吹气法兰、测距传感器、测距传感器固定座、吹风口、罐体法兰和环状气流罩组成；测距传感器安装在测距传感器固定座内部，测距传感器固定座上在测距传感器的发射面通过螺钉安装有吹风口，测距传感器固定座与罐体法兰形成一圈环形间隙，吹气法兰的一端通过气体主入口注入惰性气体，在罐体法兰的出气端连接有环状气流罩。本实用新型在罐体法兰的出气端增加气体保护的环状气流罩；进一步提高了靶材涂层厚度的测量准确性环，可进一步提高测厚的精度，又对靶材表面进行冷却，达到提升靶材涂层品质的作用。