[实用新型]一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置

说明书

本实用新型属于测厚技术领域，尤其为一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，由吹气法兰、测距传感器、测距传感器固定座、吹风口、罐体法兰和环状气流罩组成；测距传感器安装在测距传感器固定座内部，测距传感器固定座上在测距传感器的发射面通过螺钉安装有吹风口，测距传感器固定座与罐体法兰形成一圈环形间隙，吹气法兰的一端通过气体主入口注入惰性气体，在罐体法兰的出气端连接有环状气流罩。本实用新型在罐体法兰的出气端增加气体保护的环状气流罩；进一步提高了靶材涂层厚度的测量准确性环，可进一步提高测厚的精度，又对靶材表面进行冷却，达到提升靶材涂层品质的作用。

技术领域

本实用新型属于测厚技术领域，具体涉及一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置。

背景技术

靶材涂层厚度测量是利用光线反射的原理来测量距离,由于喷涂时产生的粉尘会对测距传感的光路产生干扰,经常会出现测量不稳定的情况。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，进一步提高测厚的精度，又对靶材表面进行冷却，达到提升靶材涂层品质的作用。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，由吹气法兰、测距传感器、测距传感器固定座、吹风口、罐体法兰和环状气流罩组成；测距传感器安装在测距传感器固定座内部，测距传感器固定座上在测距传感器的发射面通过螺钉安装有吹风口，测距传感器固定座与罐体法兰形成一圈环形间隙，吹气法兰的一端通过气体主入口注入惰性气体，在罐体法兰的出气端连接有环状气流罩，测距传感器固定座通过螺钉固定在吹气法兰上，吹气法兰通过螺栓固定安装在罐体法兰上。

作为优选，所述吹气法兰和罐体法兰设置有两个，且分别设置在靶材的两侧。

作为优选，所述测距传感器设置有两个，两个的测距传感器分别设置在靶材的两侧，测距传感器与靶材的两侧面的距离为d。

作为优选，所述吹气法兰的一端穿入罐体法兰的内部。

作为优选，所述吹气法兰上开设有吹气孔，测距传感器固定座上开设有与吹气孔相连通的通气孔，通气孔与吹风口相连通。

作为优选，所述吹气法兰的另一端设置有惰性气体通入口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在罐体法兰的出气端增加气体保护的环状气流罩；惰性气体通过测距传感器固定座与罐体法兰形成的一圈环形间隙吹出，由环状气流罩吹出，罐体内部的粉尘不易进入环状气流罩内，从而使得测距传感器的光路内的粉尘减少，从而进一步提高了靶材涂层厚度的测量准确性环，可进一步提高测厚的精度，又对靶材表面进行冷却，达到提升靶材涂层品质的作用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置中吹气法兰的结构示意图；

图3为本实用新型一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置中测距传感器的结构示意图；

图4为本实用新型一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置中测距传感器固定座的结构示意图。

图中：

1、吹气法兰；2、测距传感器；3、测距传感器固定座；4、吹风口；5、罐体法兰；6、靶材；7、环状气流罩。