[实用新型]大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置有效
| 申请号： | 202120282686.3 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN213987002U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 谷朝臣;韩进厚;程昊;谷朝榜;秦文材 | 申请（专利权）人： | 嘉兴谱鉴精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 314299 浙江省嘉兴市平湖市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种大孔径且低畸变的F‑theta紫外场镜装置，包括：第一透镜，第二透镜，第三透镜，第四透镜，第五透镜；所述第一透镜，第二透镜，第三透镜，第四透镜，第五透镜从激光入射方向到聚焦平面依次排布；所述第一透镜采用凹向激光入射方向的平凹透镜或凸凹透镜；所述第二透镜采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第三透镜、第四透镜采用双凸透镜；所述第五透镜采用双凹透镜或者平凹透镜。本实用新型提供的大孔径、低畸变F‑theta紫外场镜，在有效保证入射光束直径的前提下，实现了大视场、低畸变、高质量扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 孔径 畸变 theta 紫外 装置 | ||
【主权项】：
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