[实用新型]大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置

权利要求书

1.一种大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置，其特征在于，包括：第一透镜，第二透镜，第三透镜，第四透镜，第五透镜；

所述第一透镜，第二透镜，第三透镜，第四透镜，第五透镜从激光入射方向到聚焦平面依次排布；

所述第一透镜采用凹向激光入射方向的平凹透镜或凸凹透镜；

所述第二透镜采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；

所述第三透镜、第四透镜采用双凸透镜；

所述第五透镜采用双凹透镜或者平凹透镜。

2.根据权利要求1所述的大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置，其特征在于，所述第一透镜的焦距f1与扫描场镜焦距f的比值f1/f取值范围如下：

-0.35≤f1/f≤-0.55。

3.根据权利要求2所述的大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置，其特征在于，所述第一透镜的材料折射率Nd1、阿贝尔系数Vd1取值范围分别如下：

1.45≤Nd1≤1.51，54≤Vd1≤70。

4.根据权利要求1所述的大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置，其特征在于，所述第二透镜的光焦度f2与扫描场镜焦距f的比值f2/f取值范围如下：

1.0≤f2/f≤1.3。

5.根据权利要求4所述的大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置，其特征在于，所述第二透镜的材料折射率Nd2、阿贝尔系数Vd2取值范围分别如下：

1.45≤Nd2≤1.53，54≤Vd2≤70。

6.根据权利要求1所述的大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置，其特征在于，所述第三透镜的光焦度f3与扫描场镜焦距f的比值f3/f取值范围如下：

0.5≤f3/f≤0.85。

7.根据权利要求6所述的大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置，其特征在于，所述第三透镜的材料折射率Nd3、阿贝尔系数Vd3分别如下：

1.45≤Nd3≤1.53，54≤Vd3≤70。

8.根据权利要求1所述的大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置，其特征在于，所述第四透镜的光焦度f4与扫描场镜焦距f的比值f4/f、材料折射率Nd4、阿贝尔系数Vd4取值范围如下：

0.65≤f4/f≤0.9,1.45≤Nd4≤1.53，54≤Vd4≤70。

9.根据权利要求1所述的大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置，其特征在于，所述第五透镜的光焦度f5与扫描场镜焦距f的比值f5/f、材料折射率Nd5、阿贝尔系数Vd5取值范围如下：

-1.1≤f5/f≤-0.8,1.45≤Nd5≤1.53，54≤Vd5≤70。

10.根据权利要求1所述的大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置，其特征在于，所述大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置的设计波长为355nm；

当所述大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置的设计焦距为160mm时，入射光束直径最大允许值不小于12mm，扫描角度不小于±25度，扫描范围大于140mm，且入射光阑距离第一镜片中心距离为14mm-38mm。