[实用新型]一种晶圆快速烘干装置有效
| 申请号： | 202120282024.6 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN216048763U | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 周志刚;王静强;徐福兴;黄锡钦;陈亮 | 申请（专利权）人： | 昆山基侑电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆快速烘干装置，包括通过铰链连接有箱门的烘干箱本体、热风机和数个晶圆放置网板，所述烘干箱本体的内部设置有数个出风腔，所述热风机设于烘干箱本体的外部，且所述热风机的出风口通过分歧管路与数个出风腔连接，每个所述出风腔的下表面均剖设有数个出风孔，每个所述出风腔的下部所对应的烘干箱本体两侧表壁均成型有进出槽，且每个所述晶圆放置网板均可插进进出槽设置，本实用新型能均与的将多个晶圆进行同时烘干，相较于现有技术中的晶圆烘干设备，工作效率较高，且实用性也明显增强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 烘干 装置 | ||
【主权项】：
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