[实用新型]一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置有效
申请号: | 202120276940.9 | 申请日: | 2021-01-29 |
公开(公告)号: | CN214421469U | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 戴超;齐风;邢子淳;孙晨光;王彦君 | 申请(专利权)人: | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
主分类号: | B65G13/00 | 分类号: | B65G13/00;B65G47/24;B65G43/08 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 薛萌萌 |
地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置;该晶棒缓存装置用于缓存料座及晶棒,并定位固化的晶棒;该晶棒缓存装置的存储方式包括如下步骤:料座与晶棒固化完毕,人工将固化的晶棒搬入料车,料车与缓存平台对接,将晶棒推入料框,进行后续工序搬运操作。本实用新型所述的晶棒固化的缓存装置,能够将固化后的晶棒辅助推入缓存平台,能够节省人力,提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 在线 切料座上晶棒 固化 缓存 装置 | ||
【主权项】:
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