[实用新型]一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置

说明书

本实用新型提供了一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置；该晶棒缓存装置用于缓存料座及晶棒，并定位固化的晶棒；该晶棒缓存装置的存储方式包括如下步骤：料座与晶棒固化完毕，人工将固化的晶棒搬入料车，料车与缓存平台对接，将晶棒推入料框，进行后续工序搬运操作。本实用新型所述的晶棒固化的缓存装置，能够将固化后的晶棒辅助推入缓存平台，能够节省人力，提高工作效率。

技术领域

本实用新型属于半导体制造领域，尤其是涉及一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置。

背景技术

在半导体硅单晶制造领域中,料座与晶棒固化后，需放入缓存区进行固化和缓存，料座和晶棒较重，目前是人工将固化的晶棒搬入缓存区进行缓存，费时费力，因此要快速、高效的取放晶棒，需设计自动化仓储库存储固化的晶棒。现有技术中,固化的晶棒存储的方法一般步骤为：人工将晶棒放入料车，将料车推到缓存区，人工再将晶棒搬入缓存平台。现有晶棒仓储的技术缺点在于是人工搬运晶棒时费时费力，效率低下。通过设计该物料缓存装置，可以节省人力，提高工作效率。由此可见,半导体晶棒自动存储在半导体材料的行业上具有非常重要的应用价值。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置，以解决人工将固化的晶棒搬入缓存区进行缓存，费时费力，工作效率低下的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置，包括缓存台、料框、料座、滚筒输送机构、料框定位机构；

所述滚筒输送机构设置在缓存台顶部，所述料框定位机构位于滚筒输送机构的两侧用于对料框进行定位，料座位于滚筒输送机构上方用于对晶棒进行输送缓存。

进一步的，所述滚筒输送机构包括多组滚筒组件，每组滚筒组件之间留有缝隙，料框位于缝隙间，所述定位机构包括多组定位槽，每组定位槽包括两个定位槽，定位槽为U型形状，两个定位槽槽口相对设置，其中一组定位槽位于前两组滚筒组件之间的缝隙两侧，另一组定位槽位于最后一组滚筒组件之后，料框分别插接在每组定位槽上。

进一步的，每组滚筒组件包括滚筒支架、滚筒、导向条，所述滚筒支架包括两个，滚筒两端分别固定在两个滚筒支架之间，导向条设有两个，每个滚筒支架上分别固定导向条。

进一步的，所述料框包括三个第一连接片、两个第二连接片，两个第二连接片分别位于三个第一连接片之间，三个第一连接片四角、两个第二连接片四角分别通过支撑杆贯穿并固定。

进一步的，最前端的第一连接片插接在前两组滚筒组件之间的缝隙两侧的两个插槽中，最后端的第一连接片插接在最后一组滚筒组件之后的一组定位槽内。

进一步的，两个第二连接片顶部设有槽口。

进一步的，两个第二连接片底部对称设有两个限位耳。

进一步的，最后一个第一连接片与第二连接片之间安装有挡块。

进一步的，所述缓存台上安装有传感器。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置具有以下优势：

本实用新型所述的在线切料座上晶棒固化的缓存装置可以实现物料的取放和存储，有效地避免了人工搬运过程潜在的危险性,更加节省人力，提高工作效率。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的晶棒固化缓存装置结构示意图；

图2为本实用新型实施例所述的部分晶棒固化缓存装置结构示意图；