[实用新型]一种安全可靠的超纯水氮封系统

摘要

本实用新型公开了一种安全可靠的超纯水氮封系统，包括一用于储存超纯水的储罐，储罐顶部设有一与超纯水产水设备连接的超纯水进水口，储罐底部设有一超纯水出水口，储罐顶部还安装一用于检测储罐气压的气相压力表，且储罐顶部还开设一用于输入氮气的氮气输入口，氮气输入口通过一进氮阀与外部供氮设备连接，进氮阀与气相压力表通过氮封系统的控制系统信号连接；还包括一用于保护储罐的水封装置，储罐侧边开设一溢流口，水封装置设有一与溢流口连接的溢流对接口，水封装置底部设有用于排出溢流口输入的多余氮气的排放管，水封装置还设有一用于将外部空气吸入储罐内的负压补气口。本实用新型技术方案避免在缺氮情况下，造成超纯水储罐损坏。