[实用新型]一种安全可靠的超纯水氮封系统

说明书

本实用新型公开了一种安全可靠的超纯水氮封系统，包括一用于储存超纯水的储罐，储罐顶部设有一与超纯水产水设备连接的超纯水进水口，储罐底部设有一超纯水出水口，储罐顶部还安装一用于检测储罐气压的气相压力表，且储罐顶部还开设一用于输入氮气的氮气输入口，氮气输入口通过一进氮阀与外部供氮设备连接，进氮阀与气相压力表通过氮封系统的控制系统信号连接；还包括一用于保护储罐的水封装置，储罐侧边开设一溢流口，水封装置设有一与溢流口连接的溢流对接口，水封装置底部设有用于排出溢流口输入的多余氮气的排放管，水封装置还设有一用于将外部空气吸入储罐内的负压补气口。本实用新型技术方案避免在缺氮情况下，造成超纯水储罐损坏。

技术领域

本实用新型涉及超纯水技术领域，特别涉及一种安全可靠的超纯水氮封系统。

背景技术

近年来随着半导体行业的快速发展，越来越多的超纯水项目，超纯水终端二次污染问题日趋显现，与此极不协调的是超纯水技术发展时间不长，超纯水终端系统技术已成为当前社会快速发展的瓶颈；为保证终端出水电阻率，降低超纯水进入储罐后受到空气中尘埃、二氧化碳等污染，缓解超纯水受到的二次污染问题，一直以来国内应用了进氮阀+泄氮阀(或简易PE水封箱)的氮封技术，避免超纯水受到二次污染。但现有技术受工艺条件的限制，储罐存在安全隐患，在缺氮气的情况下会把超纯水储罐吸扁、吸破，对设备造成不可估量的损害。

因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种安全可靠的超纯水氮封系统，避免在缺氮情况下，造成超纯水储罐损坏。

为实现上述目的，本实用新型提出的一种安全可靠的超纯水氮封系统，包括一用于储存超纯水的储罐，所述储罐顶部设有一与超纯水产水设备连接的超纯水进水口，所述储罐底部设有一超纯水出水口，所述储罐顶部还安装一用于检测储罐气压的气相压力表，且所述储罐顶部还开设一用于输入氮气的氮气输入口，所述氮气输入口通过一进氮阀与外部供氮设备连接，所述进氮阀与所述气相压力表通过氮封系统的控制系统信号连接；还包括一用于保护储罐的水封装置，所述储罐侧边开设一溢流口，所述水封装置设有一与所述溢流口连接的溢流对接口，所述水封装置底部设有用于排出溢流口输入的多余氮气的排放管，所述水封装置还设有一用于将外部空气吸入储罐内的负压补气口。

优选地，所述水封装置包括一箱体，所述箱体内设有一用于将所述箱体分隔为上箱体和下箱体的隔板，所述上箱体和下箱体内均容置有用于水封的液体；所述上箱体顶部设有所述溢流对接口，所述溢流对接口与所述溢流口通过一溢流管连接，所述下箱体底部设有所述排放管；所述上箱体与所述下箱体之间通过至少一连通管连通；所述上箱体顶部还设有所述负压补气口、用于对箱体进行补充液体的补液管；所述负压补气口通过一补气管延伸至所述上箱体的液体内，且所述补气管内安装一单向阀，所述单向阀用于外部空气流入上箱体内；所述补液管底端设于所述上箱体的液体上方，且所述补液管底部安装一浮球阀，所述浮球阀设有一漂浮于所述上箱体液体表面的浮球。

优选地，所述连通管的数量设置为一个。

优选地，所述连通管顶部与所述上箱体液体表面平齐，所述连通管底部延伸至所述下箱体液体内。

优选地，所述排放管顶端与所述下箱体液体表面平齐。

优选地，所述箱体设置为透明亚克力材质制成的结构。

优选地，所述进氮阀设置为一自力式进氮阀。

优选地，所述超纯水产水设备设置为EDI产水设备。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：有效隔绝外界空气，保护超纯水不被空气中的二氧化碳、粉尘等二次污染，确保超纯水品质；当氮气耗尽或进氮阀出现故障导致缺氮气，储罐内产生负压时，破坏水封，吸入外界空气避免储罐负压吸扁、吸破，有效的防止负压对设备造成不可估量的损害。

附图说明