[实用新型]一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统

摘要

本实用新型涉及一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统，包括载物台、荧光成像模块和AFM成像模块；荧光成像模块包括第一物镜、激发光源、过滤组块和第一EMCCD探测器；AFM成像模块包括第一激光器、第二激光器、相机、第二EMCCD探测器和会聚透镜、第一偏振分光棱镜、四分之一波片、低通二向色镜、高通二向色镜、第二偏振分光棱镜、第二物镜等。与现有技术相比，本实用新型改进了荧光成像模块和AFM成像模块的结构，降低了成本和系统复杂度，可以根据样品对激发光的大小和能量的要求不同，调节照射到样品上的激发光，通过第一激光的反射光确定样品的表面轮廓，通过增设第二激光和相机，可以直观观察到第一激光落在微悬臂梁上的位置，更方便进行激光的调节和探针的移动。