[实用新型]一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统

权利要求书

1.一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统，其特征在于，包括载物台(1)、荧光成像模块和AFM成像模块；

所述载物台(1)用于放置待检测的样品(101)，所述样品(101)为染色样品；

所述荧光成像模块包括第一物镜(21)、激发光源(22)、过滤组块和第一EMCCD探测器(24)，所述第一物镜(21)设于载物台(1)的下方，所述激发光源(22)用于发射激发光，所述过滤组块设于第一物镜(21)下方，包括激发滤光片(231)、二向色镜(232)和发射滤光片(233)，所述二向色镜(232)与激发滤光片(231)之间的夹角等于二向色镜(232)与发射滤光片(233)之间的夹角，且激发滤光片(231)和发射滤光片(233)互不平行；所述激发滤光片(231)设于激发光源(22)的发射光路上，用于过滤激发光，所述发射滤光片(233)设于二向色镜(232)的下方，用于过滤样品(101)的发射光；

所述AFM成像模块包括第一激光器(31)、第二激光器(6)，所述第一激光器(31)输出第一激光，第一激光的出射光路上包括依次设置的会聚透镜(32)、第一偏振分光棱镜(33)，所述第一偏振分光棱镜(33)的反射光路上包括第二EMCCD探测器(35)，所述第一偏振分光棱镜(33)的透射光路上包括依次设置的四分之一波片(34)和低通二向色镜(41)，所述低通二向色镜(41)的反射光路上包括高通二向色镜(42)，所述高通二向色镜(42)的透射光路上包括第二偏振分光棱镜(43)，所述第二偏振分光棱镜(43)的反射光路上包括相机(5)，所述第二偏振分光棱镜(43)的透射光路上包括依次设置的第二物镜(44)和微悬臂梁(45)；所述第二激光器(6)输出第二激光，第二激光的出射光路上包括高通二向色镜(42)，所述高通二向色镜(42)的反射光路上包括依次设置的第二偏振分光棱镜(43)、第二物镜(44)和微悬臂梁(45)；

所述微悬臂梁(45)设于载物台(1)的上方，微悬臂梁(45)上设有探针(46)，所述探针(46)和样品(101)被配置为在一定距离内相互作用并使微悬臂梁(45)发生形变。

2.根据权利要求1所述的一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统，其特征在于，所述激发光源(22)为汞泵光源。

3.根据权利要求1所述的一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统，其特征在于，所述激发滤光片(231)用于将激发光过滤为样品激发光，所述样品激发光的波长与染色样品的染料的吸收峰相匹配。

4.根据权利要求3所述的一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统，其特征在于，染料的吸收峰为490～495nm，激发光的波长为490nm，样品的发射光为525～530nm，二向色镜被配置为反射波长500nm以下的光、透射波长500nm以上的光，所述发射滤光片被配置为截止波长520nm以下的光、透射波长520nm以上的光。

5.根据权利要求1所述的一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统，其特征在于，二向色镜(232)与激发滤光片(231)之间的夹角为45°，二向色镜(232)与发射滤光片(233)之间的夹角为45°。

6.根据权利要求1所述的一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统，其特征在于，所述荧光成像模块和AFM成像模块的光路上设有挡板。

7.根据权利要求1所述的一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统，其特征在于，所述载物台(1)为微纳米位移载物台。

8.根据权利要求1所述的一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统，其特征在于，所述微悬臂梁(45)为长100～500μm、厚500nm～5μm的硅片或氮化硅片。

9.根据权利要求8所述的一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统，其特征在于，所述微悬臂梁(45)的长度、厚度是根据样品(101)和AFM成像模块的工作方式决定的。

10.根据权利要求1所述的一种基于EMCCD和AFM的检测成像系统，其特征在于，所述低通二向色镜(41)与四分之一波片(34)之间的夹角为45°，低通二向色镜(41)和高通二向色镜(42)相互平行。