[实用新型]MEMS结构有效
| 申请号： | 202120186771.X | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN216217551U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | P·V·洛佩特 | 申请（专利权）人： | 美商楼氏电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东;黄纶伟 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及MEMS结构。所述MEMS结构包括：所述MEMS结构包括：基板，所述基板限定凹陷区域；MEMS元件，所述MEMS元件具有第一侧和第二侧，所述第一侧锚定到所述基板，其中，所述MEMS元件的至少一部分悬伸在所述凹陷区域上方；以及第一加强构件，所述第一加强构件包括从所述MEMS元件与所述基板之间的附接部的区域延伸并且在所述凹陷区域上方延伸的多个第一指状物。 | ||
| 搜索关键词： | mems 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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