[实用新型]MEMS结构

权利要求书

1.一种MEMS结构，其特征在于，所述MEMS结构包括：

基板，所述基板限定凹陷区域；

MEMS元件，所述MEMS元件具有第一侧和第二侧，所述第一侧锚定到所述基板，其中，所述MEMS元件的至少一部分悬伸在所述凹陷区域上方；以及

第一加强构件，所述第一加强构件包括从所述MEMS元件与所述基板之间的附接部的区域延伸并且在所述凹陷区域上方延伸的多个第一指状物。

2.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述MEMS元件由介电材料制成，所述第一加强构件联接到所述MEMS元件的所述第二侧，所述MEMS结构还包括联接到所述MEMS元件的所述第二侧且与所述第一加强构件间隔开的第二加强构件，其中，所述第二加强构件包括朝向所述多个第一指状物向外延伸的多个第二指状物，其中，所述第二加强构件由导电材料制成。

3.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述第一指状物是三角形的。

4.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，每个第一指状物的侧面向外弯曲。

5.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，每个第一指状物的侧面向内弯曲。

6.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述第一指状物的长度大于所述第一加强构件的厚度。

7.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述第一指状物的宽度在所述第一指状物的长度的25％至100％之间的范围内。

8.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述第一加强构件的厚度在所述MEMS元件的厚度的50％至200％之间的范围内。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的MEMS结构，其特征在于，所述MEMS元件是矩形梁。