[实用新型]一种新型磁控溅射设备用冷却铜背板有效
| 申请号： | 202120179970.8 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN215440667U | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 臧龙杰;周俊荣;齐东淼;沈雷振;曾静 | 申请（专利权）人： | 昆山世高新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型磁控溅射设备用冷却铜背板，包括背板本体，所述背板本体的背面设置有S形通道水路，所述S形通道水路的宽度为30mm，所述S形通道水路的两端分别设置有进水口和出水口，所述背板本体的正面设置有靶材绑定区域，本实用新型提供了一种强度较强、受热均匀，且不易流铟S型通道冷却铜背板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 磁控溅射 备用 冷却 背板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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