[实用新型]气源存储装置有效
| 申请号： | 202120161856.2 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN214369249U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 万军;王辉;廖海涛;王斌 | 申请（专利权）人： | 无锡市邑晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C1/00 | 分类号： | F17C1/00;F17C13/00 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 安磊 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体纳米薄膜沉积技术领域，特别涉及一种气源存储装置。该存储装置包括气瓶、存储室以及冷却通道，存储室开设有存储孔，气瓶配合地设置在存储孔中，冷却通道设置有两个，两个冷却通道相对设置在存储室的侧壁中，两个冷却通道分别设置在存储孔的两侧，每个冷却通道的两端均设置有进水管和出水管。本实用新型可保持气瓶内的前驱体源处于合适温度，以防止在使用过程中发生危险事故，提高安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 存储 装置 | ||
【主权项】：
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