[实用新型]一种氮化铝基板清洗装置有效
| 申请号： | 202120081309.3 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN214321028U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 马宝东;孟飞;杨峰 | 申请（专利权）人： | 银川艾森达新材料发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/02;B08B3/14;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 750001 宁夏回族自治区银川*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型属于基板清洗装置技术领域，尤其是一种氮化铝基板清洗装置，针对了对基板清洗时无法对基板死角处得到有效的进行清洗，基板清洗效率低且质量差的问题，现提出如下方案，其包括处理箱，处理箱一侧侧壁固定有驱动电机，驱动电机的输出轴固定有第一传动杆，第一传动杆沿水平方向贯穿处理箱，第一传动位于处理箱外部的一端固定有第一带轮，第一带轮一侧侧壁套接有皮带，皮带远离第一带轮的一端套接有第二带轮，第二带轮远离皮带的一侧侧壁固定第二传动杆；本实用新型中通过此设置达到了对基板进行清洗工作时的对死角气清洗效果更佳，在对基板进行清洗时对基板的固定效果得到了一定的提升，更大幅度的提升了对基板清洗工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 铝基板 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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