[实用新型]一种氮化铝基板清洗装置

权利要求书

1.一种氮化铝基板清洗装置，包括处理箱(1)，其特征在于，所述处理箱(1)一侧侧壁固定有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的输出轴固定有第一传动杆(3)，所述第一传动杆(3)沿水平方向贯穿处理箱(1)，所述第一传动位于处理箱(1)外部的一端固定有第一带轮(4)，所述第一带轮(4)一侧侧壁套接有皮带(5)，所述皮带(5)远离第一带轮(4)的一端套接有第二带轮(6)，所述第二带轮(6)远离皮带(5)的一侧侧壁固定第二传动杆(7)，所述第二传动杆(7)沿水平方向贯穿至处理箱(1)内部，所述第二传动杆(7)位于处理箱(1)内部的一侧侧壁固定有主刷辊(8)，所述处理箱(1)内侧侧壁固定有呈对称分布的限位块(9)，所述限位块(9)相互靠近的一侧侧壁卡接有基板体(10)，所述基板体(10)位于主刷辊(8)的正下方，所述处理箱(1)内侧侧壁嵌入有轴承座(11)，所述轴承座(11)一侧侧壁转动连接有第一转动杆(12)，所述第一转动杆(12)一侧侧壁固定有副刷辊(1201)，所述副刷辊(1201)位于基板体(10)正下方，所述第一转动杆(12)沿水平方向延伸至处理箱(1)外部，所述第一转动杆(12)位于处理箱(1)外部的一端固定有传动机构(13)。

2.根据权利要求1所述的一种氮化铝基板清洗装置，其特征在于，所述传动机构(13)包括传动杆位于处理箱(1)外部的一端固定有第一锥齿轮(1301)，所述第一锥齿轮(1301)一侧侧壁啮合连接有第二锥齿轮(1302)，所述第二锥齿轮(1302)一侧侧壁固定有第二转动杆(1303)，所述第二转动杆(1303)远离第二锥齿轮(1302)的一侧侧壁固定有往复机构(14)。

3.根据权利要求2所述的一种氮化铝基板清洗装置，其特征在于，所述往复机构(14)包括第二转动杆(1303)一侧侧壁固定有凹轮(1401)，所述凹轮(1401)远离第二转动杆(1303)的一侧侧壁对接有凸轮(1402)，所述凸轮(1402)一侧侧壁转动连接有支撑座(1403)，所述支撑座(1403)远离凸轮(1402)的一侧侧壁固定有弹簧杆(1404)，所述弹簧杆(1404)远离支撑座(1403)的一侧侧壁固定有过滤板(15)，所述过滤板(15)远离弹簧杆(1404)的一侧侧壁固定有缓冲弹簧(16)，所述缓冲弹簧(16)远离过滤板(15)的一侧侧壁与处理箱(1)内侧侧壁固定。

4.根据权利要求2所述的一种氮化铝基板清洗装置，其特征在于，所述第二转动杆(1303)靠近第一传动杆(3)的一侧侧壁固定有第三锥齿轮(17)，所述第三锥齿轮(17)一侧侧壁啮合连接有第四锥齿轮(18),所述第四锥齿轮(18)远离第三锥齿轮(17)的一侧侧壁与第一传动杆(3)固定。

5.根据权利要求1所述的一种氮化铝基板清洗装置，其特征在于，所述处理箱(1)顶端固定有水箱(19)，所述水箱(19)底端固定有连通设置的管道(20)，所述管道(20)远离水箱(19)的一端延伸至处理箱(1)内部，所述管道(20)位于处理箱(1)内部的一端固定有喷头(21)，所述水箱(19)顶端固定有与内部相连通设置的进水管(22)。

6.根据权利要求2所述的一种氮化铝基板清洗装置，其特征在于，所述第二转动杆(1303)一侧侧壁套接有两个呈对称分布的滑动套(23)，所述滑动套(23)远离第二转动杆(1303)的一侧侧壁固定有防护壳(24)，所述滑动套(23)另一侧与处理箱(1)一侧侧壁固定。