[实用新型]一种位移台分辨率和精度检测装置有效
申请号: | 202120060737.8 | 申请日: | 2021-01-11 |
公开(公告)号: | CN213985027U | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 杨向通;冯鹰 | 申请(专利权)人: | 无锡信欧光电科技有限公司 |
主分类号: | G01B21/22 | 分类号: | G01B21/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214213 江苏省无锡市宜兴经济技*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种位移台分辨率和精度检测装置,涉及位移台检测技术领域,解决了目前使用的检测装置仅根据显微镜的具体位置进行检测,不具备对于位移台本身的各个位置进行数据测量的功能的问题。一种位移台分辨率和精度检测装置,包括底座;所述底座为T形台结构,且底座的顶部固定设置有顶座;所述顶座的顶部内侧开设有内槽,且内槽的内侧底部固定设置有提升筒;通过设置有锁紧装置和贴合条,为检测装置提供了调整功能,利用贴合条将位移台进行固定,同时八组贴合条将位移台的边侧进行对正,将位移台边侧与八组贴合条平行,完成对位移台的固定,并将下夹片和上夹片推入位移台的中间夹缝中,以便进行测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 位移 分辨率 精度 检测 装置 | ||
【主权项】:
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