[实用新型]一种位移台分辨率和精度检测装置有效

专利信息
申请号: 202120060737.8 申请日: 2021-01-11
公开(公告)号: CN213985027U 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 杨向通;冯鹰 申请(专利权)人: 无锡信欧光电科技有限公司
主分类号: G01B21/22 分类号: G01B21/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214213 江苏省无锡市宜兴经济技*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 位移 分辨率 精度 检测 装置
【说明书】:

本实用新型提供一种位移台分辨率和精度检测装置,涉及位移台检测技术领域,解决了目前使用的检测装置仅根据显微镜的具体位置进行检测,不具备对于位移台本身的各个位置进行数据测量的功能的问题。一种位移台分辨率和精度检测装置,包括底座;所述底座为T形台结构,且底座的顶部固定设置有顶座;所述顶座的顶部内侧开设有内槽,且内槽的内侧底部固定设置有提升筒;通过设置有锁紧装置和贴合条,为检测装置提供了调整功能,利用贴合条将位移台进行固定,同时八组贴合条将位移台的边侧进行对正,将位移台边侧与八组贴合条平行,完成对位移台的固定,并将下夹片和上夹片推入位移台的中间夹缝中,以便进行测量。

技术领域

本实用新型属于位移台检测技术领域,更具体地说,特别涉及一种位移台分辨率和精度检测装置。

背景技术

位移台是用以带动负载在其运动平面进行直线移动的装置。位移台理想的移动路径为直线,沿运动直线在垂直水平面的偏移量称为运动平行度,运动平行度通过机械加工和装调来保证精度。

经过检索例如专利号为CN210004952U的专利公开了一种位移台分辨率和精度检测装置,包括方形的分辨率板、90度安装支架和显微镜,分辨率板上设置有纵向和横向的刻度,分辨率板通过基座固定连接在90度安装支架上,90度安装支架固定连接在位移台上,显微镜的物镜聚焦后能够对准分辨率板上的刻度,刻度的精度大于位移台精度,目镜上设置有十字叉丝。本实用新型的检测装置能够分别实现角度位移台、旋转台、平移台、升降台的分辨率和精度检测,显微镜的普及率相对激光干涉仪高很多,成本较低,分辨率板有不同精度的商品购买,测量装置的结构简单,无需特别维护;测量原理比较简单,无需专人操作,能够实现不同规格位移台的检测。

基于上述,目前使用的检测装置仅根据显微镜的具体位置进行检测,不具备对于位移台本身的各个位置进行数据测量的功能,不能根据位移台类型不同快速移动装配实现测量。

于是,有鉴于此,针对现有的结构及缺失予以研究改良,提供一种位移台分辨率和精度检测装置,以期达到更具有更加实用价值性的目的。

实用新型内容

为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种位移台分辨率和精度检测装置,以解决上述背景技术中提出的目前使用的检测装置仅根据显微镜的具体位置进行检测,不具备对于位移台本身的各个位置进行数据测量的功能,不能根据位移台类型不同快速移动装配实现测量的问题。

本实用新型一种位移台分辨率和精度检测装置的目的与功效,由以下具体技术手段所达成:

一种位移台分辨率和精度检测装置,包括底座;所述底座为T形台结构,且底座的顶部固定设置有顶座;所述顶座的顶部内侧开设有内槽,且内槽的内侧底部固定设置有提升筒;所述顶座的边侧中间开设有圆槽孔,圆槽孔内固定设置有锁紧装置;所述锁紧装置还包括有螺纹筒A,装配筒A,推片;所述螺纹筒A的一侧内部开设有螺孔;所述装配筒A的内部固定设置有螺杆,装配筒A与螺纹筒A滑动连接,同时螺纹筒A螺孔与装配筒A螺杆螺纹连接,螺纹筒A外侧套设有弹簧;所述装配筒A外侧固定设置有推片。

优选的,所述底座还包括有气管,输气筒,外条架,活塞板,锁紧螺杆;底座的一侧连接设置有气管,气管穿过底座和顶座与提升筒内部连接相通;气管的一端连接设置有输气筒,输气筒的外侧固定设置有外条架;输气筒内滑动设置有活塞板,活塞板内侧设置有弹簧;外条架中通过螺纹连接固定设置有锁紧螺杆。

优选的,所述顶座还包括有延伸条,十字槽;顶座的顶部边侧均一体式设置有两组延伸条,延伸条的内侧均开设有十字槽,十字槽的中间和顶部贯穿顶座与内槽连通;十字槽内均滑动设置有贴合条,贴合条的底部为十字形结构并与十字槽吻合;贴合条的外侧设置有刻度;贴合条外均设置有测量装置。

优选的,所述提升筒还包括有提升塞柱,托盘;提升筒的内侧滑动设置有提升塞柱,提升塞柱的底部边缘为活塞结构;提升塞柱的顶部固定设置有托盘;所述内槽的内侧固定设置有四组伸缩杆,伸缩杆的顶部与托盘底部固定连接。

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