[发明专利]芯片偏振测试系统有效

专利信息
申请号: 202111681983.6 申请日: 2021-12-31
公开(公告)号: CN114252150B 公开(公告)日: 2023-09-01
发明(设计)人: 郭庆锐;彭琪;魏秀强;苏文毅;余漫;闫大鹏 申请(专利权)人: 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司
主分类号: G01J1/00 分类号: G01J1/00;G01R31/28;G01J1/04
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 钟勤
地址: 430000 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 本申请提供一种芯片偏振测试系统,包括第一平台、模拟激光机构、第一测试机构、第二测试机构和控制器,模拟激光机构、第一测试机构和第二测试机构分别与控制器连接,模拟激光机构,用于给工作台上的待测试芯片加电,以使得待测试芯片发出激光束;第一测试机构用于获得第一光强度信号;第二测试机构用于获得第五光强度信号;控制器用根据第一光强度信号计算待测试芯片在不同强度电流作用下的裸测功率;根据第五光强度信号计算待测试芯片在不同强度电流作用下的测试功率;根据裸测功率和测试功率计算待测试芯片的偏振度;并根据偏振度判断待测试芯片是否合格,并输出测试结果。自动化程度高,提高了测试效率和准确度。
搜索关键词: 芯片 偏振 测试 系统
【主权项】:
暂无信息
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