[发明专利]芯片偏振测试系统

说明书

本申请提供一种芯片偏振测试系统，包括第一平台、模拟激光机构、第一测试机构、第二测试机构和控制器，模拟激光机构、第一测试机构和第二测试机构分别与控制器连接，模拟激光机构，用于给工作台上的待测试芯片加电，以使得待测试芯片发出激光束；第一测试机构用于获得第一光强度信号；第二测试机构用于获得第五光强度信号；控制器用根据第一光强度信号计算待测试芯片在不同强度电流作用下的裸测功率；根据第五光强度信号计算待测试芯片在不同强度电流作用下的测试功率；根据裸测功率和测试功率计算待测试芯片的偏振度；并根据偏振度判断待测试芯片是否合格，并输出测试结果。自动化程度高，提高了测试效率和准确度。

技术领域

本申请属于半导体检测技术领域，尤其涉及一种芯片偏振测试系统。

背景技术

随着半导体激光行业的飞速发展，对激光芯片进行测试已经比较成熟，然而，现有芯片测试进测试芯片的功率、光谱等参数。

目前，大多数情况下激光的出射光都是偏振的，激光器增益与偏振有关，谐振腔损耗也与偏振有关，可知，激光器偏振对激光器的影响较大。而现有激光器芯片仅仅测试芯片的功率、光谱等参数，测试数据不完成，无法全面评价芯片的性能。

发明内容

本申请实施例提供一种芯片偏振测试系统，以解决现有设备无法测试芯片偏振的问题。

本申请实施例提供一种芯片偏振测试系统，包括：

第一平台；

设置于所述第一平台上的模拟激光机构，包括工作台、加电组件和冷却组件，所述工作台位于所述料台的一侧，所述加电组件位于所述工作台一侧，所述加电组件用于给所述工作台上的所述待测试芯片加电，以使得所述待测试芯片发出激光束，所述冷却组件与所述工作台连接，所述冷却组件用于给所述工作台上的所述待测试芯片进行散热降温；

设置于所述第一平台上的第一测试机构，包括积分球，所述积分球的入光口与所述待测试芯片的出光端相对设置，所述积分球用于检测所述待测试芯片在不同强度电流作用的第一光强度信号；

设置于所述第一平台上的第二测试机构，包括偏振分光棱镜、准直透镜、第一调节组件和第二调节组件，所述偏振分光棱镜设置于所述第一调节组件上，所述准直透镜设置于所述第二调节组件，所述第一调节组件用于调节偏振分光棱镜的位置，所述第二调节组件用于调节准直透镜的位置，以使得所述待测试芯片的出光端、所述偏振分光棱镜、所述准直透镜和所述积分球的入光口位于同一直线上，且准直透镜位于所述待测试芯片的出光端和所述偏振分光棱镜之间，所述偏振分光棱镜位于准直透镜和所述积分球的入光口之间，所述积分球还用于在所述待测试芯片的出光端、所述准直透镜、所述偏振分光棱镜和所述积分球的入光口位于同一直线上时，检测所述待测试芯片在不同强度电流作用下的第五光强度信号；

控制器，所述模拟激光机构、所述第一测试机构和所述第二测试机构分别与所述控制器连接，所述控制器用于：

接收所述第一光强度信号，并根据所述第一光强度信号计算所述待测试芯片在不同强度电流作用下的裸测功率，所述裸测功率是指所述偏振分光棱镜和所述准直透镜远离所述待测试芯片的出光端时，测试所得的功率；接收所述第五光强度信号，根据所述第五光强度信号计算所述待测试芯片在不同强度电流作用下的测试功率；

根据所述裸测功率和测试功率计算所述待测试芯片的偏振度；

并根据所述偏振度判断所述待测试芯片是否合格，并输出测试结果。

可选的，所述工作台包括第一底座、驱动部和夹持部，所述第一底座上设置有凸台，所述凸台的面积与所述待测试芯片的面积适配，所述驱动部与所述夹持部连接，所述凸台用于放置所述待测试芯片，所述驱动部用于驱动所述夹持部夹持固定所述待测试芯片。

可选的，所述夹持部包括对称设置于所述凸台两侧的第一子部和第二子部，所述第一子部和第二子部靠近所述凸台的一侧具有与所述待测试芯片侧壁形状适配的接触面。