[发明专利]一种常压等离子增强的镀膜装置有效
| 申请号： | 202111678288.4 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114318250B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 苏宜鹏;冼健威;李南杰 | 申请（专利权）人： | 东莞市晟鼎精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 刘静 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种常压等离子增强的镀膜装置，镀膜装置包括壳体、电源、激励线缆、气体输入管、喷枪、药液罐、注液泵、注液管，喷枪设置在壳体内底部，药液罐、注液泵设置在壳体内，注液管依次将药液罐、注液泵、喷枪顶部连接在一起，喷枪包括枪筒、第一电极和第二电极，第一电极设置在枪筒内顶部侧壁上，第二电极设置在枪筒内顶部中央，第二电极中央设沿枪筒轴线的通孔，枪筒底部带有减缩段，枪筒内第一电极、第二电极之间的夹层区域为电离腔，枪筒底部减缩段为喷射腔，枪筒内电离腔、喷射腔之间区域为混合腔，气体输入管从外部插入壳体内并连接到电离腔顶部壁面，注液管连接至第二电极内通孔的顶部，激励线缆分别连接电源和第一、二电极。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 常压 等离子 增强 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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