[发明专利]一种常压等离子增强的镀膜装置

权利要求书

1.一种常压等离子增强的镀膜装置，其特征在于：所述镀膜装置包括壳体(1)、电源(21)、激励线缆(22)、气体输入管(4)、喷枪(5)、药液罐(61)、注液泵(62)、注液管(63)，

所述喷枪(5)设置在壳体(1)内底部，所述药液罐(61)、注液泵(62)设置在壳体(1)内，所述注液管(63)依次将药液罐(61)、注液泵(62)、喷枪(5)顶部连接在一起，所述喷枪(5)包括枪筒(51)、第一电极(52)和第二电极(53)，所述第一电极(52)设置在枪筒(51)内顶部侧壁上，所述第二电极(53)设置在枪筒(51)内顶部中央，第二电极(53)中央设沿枪筒(51)轴线的通孔，枪筒(51)底部带有减缩段，枪筒(51)内第一电极(52)、第二电极(53)之间的夹层区域为电离腔(511)，枪筒(51)底部减缩段为喷射腔(513)，枪筒(51)内电离腔(511)、喷射腔(513)之间区域为混合腔(512)，

所述气体输入管(4)从外部插入壳体(1)内并连接到电离腔(511)顶部壁面，所述注液管(63)连接至第二电极(53)内通孔的顶部，所述激励线缆(22)分别连接电源(21)和第一电极(52)、第二电极(53)；

所述镀膜装置还包括磁极(71)，所述磁极(71)设置在混合腔(512)侧壁上，磁极(71)对混合腔(512)内施加垂直于枪筒(51)轴线的磁场；

所述磁极(71)有至少四个，磁极(71)在混合腔(512)内的磁场方向绕枪筒(51)轴线进行旋转或对称变化；

所述镀膜装置还包括励磁线圈(23)，所述喷枪(5)还包括隔离条(54)，所述磁极(71)一端为圆弧片状、另一端为杆状，所述磁极(71)的圆弧片状一端相互拼接围绕混合腔(512)构成环状，磁极(71)的杆状端以枪筒(51)轴线为中心线径向向外分布，磁极(71)相邻位置使用隔离条(54)分隔，所述励磁线圈(23)分别缠绕磁极(71)的杆状部分，励磁线圈(23)连接至电源(21)上，励磁线圈(23)为每个磁极(71)独立供应直流电；

所述镀膜装置还包括电荷板(72)，所述电荷板(72)的数量与磁极(71)数量相同，电荷板(72)圆周均布在喷射腔(513)内壁上，相邻电荷板(72)间使用隔离条(54)分隔，电荷板(72)依磁极(71)的磁场方向而改变自身携带的电荷，从作N极的磁极(71)朝作S极的磁极(71)看，处于右侧的电荷板(72)上带正电荷；

所述镀膜装置还包括电荷板(72)和检测回路(73)，所述注液管(63)上分别设置电控阀，

所述电荷板(72)的数量与磁极(71)数量相同，电荷板(72)圆周均布在喷射腔(513)内壁上，相邻电荷板(72)间使用隔离条(54)分隔，一百八十度相对的两块电荷板(72)通过一条单独的检测回路(73)连接起来，检测回路(73)检测两块电荷板(72)的电势差，以枪筒(51)轴向投影面上处于作业状态中的两块磁极(71)间的两块电荷板(72)作为工作电荷板，工作电荷板所连接的检测回路(73)上检测获得电势差减小时，调小电控阀开度。

2.根据权利要求1所述的一种常压等离子增强的镀膜装置，其特征在于：所述镀膜装置还包括水冷系统(31)和水冷管(32)，所述水冷系统(31)为水冷管(32)提供冷水，所述水冷管(32)延伸并裹绕喷枪(5)的端部。

3.根据权利要求1所述的一种常压等离子增强的镀膜装置，其特征在于：所述注液管(63)在注液泵(62)和第二电极(53)之间的管段从枪筒(51)端部经过并缠绕枪筒(51)端部外表面。

4.根据权利要求1所述的一种常压等离子增强的镀膜装置，其特征在于：所述药液罐(61)内设有液位传感器。