[发明专利]法拉第筒及离子束测量系统在审
| 申请号： | 202111656546.9 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114296121A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;冀鸣;易洪波;赵刚 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;G01R29/24 |
| 代理公司： | 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 | 代理人： | 余永文 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种法拉第筒及离子束测量系统；所述法拉第筒包括：依次叠加的前端部，抑制组件，隔离组件和收集极组件；所述前端部开设有离子束收集口；其中，所述前端部设有测量口；所述收集极组件包括第一PCB板基板，所述第一PCB板基板的中部设有第一金属层，所述第一金属层边缘设有第一PCB绝缘层；被测量的离子束从所述前端部的离子束收集口进入，通过所述抑制组件屏蔽电子后由所述第一金属层收集，并用于检测离子束的束流数据；该技术方案，收集极组件采用PCB板制作，利用在PCB板基板上的PCB绝缘层和PCB绝缘层中部的金属层来收集离子束流，采用PCB工艺简化了法拉第筒结构，便于设备安装，且结构一致性好，生产制造成本低，后期维护简单。 | ||
| 搜索关键词： | 法拉第 离子束 测量 系统 | ||
【主权项】：
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