[发明专利]法拉第筒及离子束测量系统

权利要求书

1.一种法拉第筒，其特征在于，包括：依次叠加的前端部，抑制组件，隔离组件和收集极组件；所述前端部开设有离子束收集口；其中，所述前端部设有测量口；

所述收集极组件包括第一PCB板基板，所述第一PCB板基板的中部设有第一金属层，所述第一金属层边缘设有第一PCB绝缘层；

被测量的离子束从所述前端部的离子束收集口进入，通过所述抑制组件屏蔽电子后由所述第一金属层收集，并用于检测离子束的束流数据。

2.根据权利要求1所述的法拉第筒，其特征在于，所述抑制组件第二PCB板基板，所述第二PCB板基板的中部设有第二金属层，所述第二金属层边缘设有第二PCB绝缘层；

所述第二金属层中部开设有与所述离子束收集口对应的透过孔，用于通过离子束流。

3.根据权利要求2所述的法拉第筒，其特征在于，所述第一金属层连接电流表，所述电流表用于检测电流的大小确定离子束的束流数据；

所述第二金属层连接负电位，用于屏蔽离子束中的电子；

所述第一金属层为覆铜层，第二金属层为覆铜层。

4.根据权利要求3所述的法拉第筒，其特征在于，所述透过孔包括在第二金属层上开设的多个小孔组成的小孔列阵；

其中，每个小孔用于通过离子束流并屏蔽离子束流中的电子。

5.根据权利要求4所述的法拉第筒，其特征在于，所述离子束收集口包括在所述前端部上开设的与所述抑制组件的小孔列阵一一对应的多个小孔；

其中，各个所述小孔用于通过一定数量的离子束流。

6.根据权利要求5所述的法拉第筒，其特征在于，所述隔离组件包括第三PCB板基板，所述第三PCB板基板上设有第三PCB绝缘层；

其中，所述第三PCB绝缘层上开设有与所述小孔列阵一一对应的多个小孔。

7.根据权利要求6所述的法拉第筒，其特征在于，还包括：密封外壳与底板；

其中，所述密封外壳前端与所述前端部密封连接；所述底板与密封外壳的后部密封连接；

所述第二PCB板基板、第三PCB板基板和第一PCB板基板依次叠加并嵌入在所述密封外壳内。

8.一种离子束测量系统，其特征在于，包括：安装框架，以及分布式设于安装框架上的多个权利要求1-7任一项所述的法拉第筒；

其中，各个所述法拉第筒分别用于对所属区域的离子束的束流数据进行检测。

9.根据权利要求8所述的离子束测量系统，其特征在于，还包括：分别与各个所述法拉第筒连接的控制器；

其中，所述控制器用于检测任一所连接的所述法拉第筒输出的束流数据。

10.根据权利要求9所述的离子束测量系统，其特征在于，还包括：连接在各个所述法拉第筒与控制器之间的多路选择器；

其中，各个所述法拉第筒分别连接所述多路选择器的一个输入端，所述控制器连接所述多路选择器的输出端；

所述控制器还连接所述多路选择器的控制端；

所述控制器根据测量区域需求输出控制信号至所述多路选择器的控制端，从多个输入端中选择接通相应的法拉第筒，并读取该法拉第筒输出的束流数据。