[发明专利]雪崩光电二极管及其制备方法

摘要

一种雪崩光电二极管及其制备方法，雪崩光电二极管的第一类型衬底具有第一表面、第二表面和中心区；PN结形成于中心区中，PN结包括电性连接的第一类型区和第二类型区；第一类型电连接部、第二类型电连接部和第二类型电阻均形成于第一类型衬底中，且均位于第一类型衬底的沿厚度方向的表面；第一类型区和第二类型电阻均与第一类型电连接部电性连接，第二类型区与第二类型电连接部电性连接，第一类型电连接部和第二类型电连接部电性隔离；遮光层覆盖位于中心区的外周的第二表面，遮光层对应中心区处形成光入射口，反射层至少覆盖位于中心区的第一表面。本申请能够适时地将雪崩效应时持续增大的反向电流导出，提高雪崩光电二极管的使用可靠性。