[发明专利]一种石墨烯薄膜转移装置在审
申请号: | 202111640477.2 | 申请日: | 2021-12-29 |
公开(公告)号: | CN114180561A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 张腊梅 | 申请(专利权)人: | 苏州华业新材料科技有限公司 |
主分类号: | C01B32/194 | 分类号: | C01B32/194;C01B32/186 |
代理公司: | 苏州久元知识产权代理事务所(普通合伙) 32446 | 代理人: | 潘宏伟 |
地址: | 215000 江苏省苏州市虎*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种石墨烯薄膜转移装置,具体涉及石墨烯薄膜转移领域,包括底壳体和顶壳体,所述底壳体和顶壳体之间的侧面相互卡接,且所述底壳体和顶壳体之间形成有单向阀,所述顶壳体内腔的顶部固定安装有隔离板,所述隔离板的侧面从上至下依次固定安装有电磁阀组件和单向阀,所述电磁阀组件和单向阀的侧面与顶壳体的内壁固定连接,所述底壳体内腔的底面固定安装有升降台。本发明通过驱动传送带,将落入硅基上方的石墨烯移动至传动组件的上方,最终通过控制器配合微型液压升降杆和距离感应器根据石墨烯薄膜的厚度将石墨烯薄膜通过平衡板导出底壳体和顶壳体的外部,整个驱动外移过程通过控制器精确控制,波动低,稳定性能高。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 薄膜 转移 装置 | ||
【主权项】:
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