[发明专利]一种石墨烯薄膜转移装置在审
申请号: | 202111640477.2 | 申请日: | 2021-12-29 |
公开(公告)号: | CN114180561A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 张腊梅 | 申请(专利权)人: | 苏州华业新材料科技有限公司 |
主分类号: | C01B32/194 | 分类号: | C01B32/194;C01B32/186 |
代理公司: | 苏州久元知识产权代理事务所(普通合伙) 32446 | 代理人: | 潘宏伟 |
地址: | 215000 江苏省苏州市虎*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 薄膜 转移 装置 | ||
本发明公开了一种石墨烯薄膜转移装置,具体涉及石墨烯薄膜转移领域,包括底壳体和顶壳体,所述底壳体和顶壳体之间的侧面相互卡接,且所述底壳体和顶壳体之间形成有单向阀,所述顶壳体内腔的顶部固定安装有隔离板,所述隔离板的侧面从上至下依次固定安装有电磁阀组件和单向阀,所述电磁阀组件和单向阀的侧面与顶壳体的内壁固定连接,所述底壳体内腔的底面固定安装有升降台。本发明通过驱动传送带,将落入硅基上方的石墨烯移动至传动组件的上方,最终通过控制器配合微型液压升降杆和距离感应器根据石墨烯薄膜的厚度将石墨烯薄膜通过平衡板导出底壳体和顶壳体的外部,整个驱动外移过程通过控制器精确控制,波动低,稳定性能高。
技术领域
本发明涉及石墨烯薄膜转移技术领域,更具体地说,本发明涉及一种石墨烯薄膜转移装置。
背景技术
众所周知,石墨烯是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的二维碳纳米材料,石墨烯具有优异的光学、电学、热学以及力学特性,在材料学、微纳加工、能源、生物医学和药物传递等方面具有重要的应用前景,被认为是一种未来革命性的材料,由于其具有良好的热学性能,现如今石墨烯开始广泛应用在电热薄膜领域。
目前,石墨烯最为主流的制备方法当属化学气相沉积法,人们可以直接在Cu(铜)、Ni(镍)等金属基底上进行石墨烯的生长。尽管利用CVD法可以在金属基底上大规模生长石墨烯,然而,石墨烯往往需要转移到特定的目标基底,如硅基底上,才能更好的应用。但是,石墨烯仅由一层碳原子构成,只有在紧密依附基底的条件下才能稳定存在,同时,剧烈的外部条件容易破坏石墨烯晶格,引入缺陷,进而严重影响石墨烯的性能。
发明内容
为了克服现有技术的上述缺陷,本发明的实施例提供一种石墨烯薄膜转移装置,通过控制器控制第一电磁铁驱动联动套上升,使得将石墨烯薄膜放置于存放板的上方,接着控制第一电磁铁驱动联动套下降,使得对石墨烯薄膜初步固定,然后启动升降台将整个传动组件上升,接着控制器控制第二电磁铁失去磁性,此时利用拉升弹簧和压缩弹簧的弹力拉扯,瞬间拉扯阀芯进入第一套板,此时反应药水作用于单向阀的上方,单向阀单向打开,此时石墨烯薄膜外部的铜箔与药水反应,反应过程的气体出现导致单向阀内部的压强增加,从而使得单向阀瞬间关闭,从而实现了对石墨烯基底的快速去除和迁移,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种石墨烯薄膜转移装置,包括底壳体和顶壳体,所述底壳体和顶壳体之间的侧面相互卡接,且所述底壳体和顶壳体之间形成有单向阀,所述顶壳体内腔的顶部固定安装有隔离板,所述隔离板的侧面从上至下依次固定安装有电磁阀组件和单向阀,所述电磁阀组件和单向阀的侧面与顶壳体的内壁固定连接,所述底壳体内腔的底面固定安装有升降台,所述升降台的顶部固定安装有传动组件,所述升降台的顶面的左右两侧均固定安装有位于传动组件背面的稳定组件,所述底壳体和顶壳体的正面之间固定安装有定位板;
所述传动组件包括传送带,所述传送带的正面开设有活动槽,所述活动槽的左右两侧均通过转轴固定谅解有存放板,所述传送带的正面固定安装有位于存放板正面的定位组件,所述定位组件的数量为四个,四个所述定位组件分别位于存放板的四角;
所述电磁阀组件包括第一套板和第二套板,所述第一套板和第二套板之间活动套装有阀芯,所述阀芯的一端延伸至第一套板的内部并活动套装有伸缩杆,所述伸缩杆的另一端固定安装有侧板,所述侧板的侧面与第一套板的内壁固定连接,所述阀芯的另一端延伸至第二套板的内腔并固定连接有推杆,所述推杆的外部固定安装有第二电磁铁,所述第二电磁铁的另一端固定安装有锁定杆,所述锁定杆的另一端与第二套板的内壁固定连接。
在一个优选地实施方式中,所述定位组件包括竖杆,所述竖杆的从上至下依次安装有联动套和第一电磁铁,所述竖杆的外壁与联动套的内壁活动套装,所述联动套的正面固定安装有固定轴,所述固定轴的外部固定套装有连动杆,所述连动杆的底部固定安装有限位杆,所述竖杆的正面开设有与限位杆相适配的限位槽,所述第一电磁铁的内壁与竖杆的外壁固定连接。
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