[发明专利]高良品率加厚型单晶石英坩埚及其制备工艺有效
| 申请号： | 202111632496.0 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114368901B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 张国忠;高文送;汪涵;朱海江;李国洪;朱燕亚 | 申请（专利权）人： | 无锡市尚领石英科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C3/093 | 分类号： | C03C3/093;C03C3/06;C03B19/06;C03C17/00;C03C17/34;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 仲红敏 |
| 地址： | 214406 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了高良品率加厚型单晶石英坩埚，包括坩埚本体和涂覆于坩埚本体内壁的碳化硅涂层与氮化硅涂层，所述坩埚本体包括以下原料：高纯石英砂、粘接剂、偶联剂、填料，所述高纯石英砂是含有以下掺杂元素的二氧化硅材料：铝、硼、钙、铬、铁、锂、镁、钒、镍、钪、钨。本发明将高纯石英砂与粘接剂、填料和偶联剂进行混合得到的石英坩埚具有较好的粘度，粘接剂能够对高纯石英砂进行改性处理，使得石英砂的表面孔隙增加与填料和偶联剂进行混合，然后经过烧结处理后能够使得石英砂的表面得到较好的粗化效果，石英坩埚的粘度效果更好，所以石英坩埚的抗变形效果更好，具有一定抗析晶的特性，从而能够提高单晶硅生产时的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 高良品率 加厚 晶石 坩埚 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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