[发明专利]渐变中性密度片针孔测试系统在审
申请号: | 202111630222.8 | 申请日: | 2021-12-28 |
公开(公告)号: | CN114324160A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 金秀;任少鹏;张勇喜;刘佩闻;朱磊;郭俊峰;阎岩 | 申请(专利权)人: | 沈阳仪表科学研究院有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/894 |
代理公司: | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人: | 郭元艺 |
地址: | 110043 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明属光学元件表面质量的检测领域,尤其涉及渐变中性密度片针孔测试系统,包括整体外框架(1)、激光光源(2)、上光学调整架(301)、下光学调整架(302)、承载平台(4)、运动机构(5)、承载夹具(6)、光功率计(8)及计算机(9);运动机构(5)包括旋转电机(501)及X轴电动直线位移台(502);旋转电机(501)固定设于X轴电动直线位移台(502)之上,其输出轴与承载夹具(6)垂直固定相接;X轴电动直线位移台(502)固定设于承载平台(4)之上,其推进端与Y轴电动直线位移台(503)固定相接。本发明检测一致性强,测试效率高,检测精度理想。 | ||
搜索关键词: | 渐变 中性 密度 针孔 测试 系统 | ||
【主权项】:
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