[发明专利]渐变中性密度片针孔测试系统

说明书

本发明属光学元件表面质量的检测领域，尤其涉及渐变中性密度片针孔测试系统，包括整体外框架（1）、激光光源（2）、上光学调整架（301）、下光学调整架（302）、承载平台（4）、运动机构（5）、承载夹具（6）、光功率计（8）及计算机（9）；运动机构（5）包括旋转电机（501）及X轴电动直线位移台（502）；旋转电机（501）固定设于X轴电动直线位移台（502）之上，其输出轴与承载夹具（6）垂直固定相接；X轴电动直线位移台（502）固定设于承载平台（4）之上，其推进端与Y轴电动直线位移台（503）固定相接。本发明检测一致性强，测试效率高，检测精度理想。

技术领域

本发明属光学元件表面质量的检测领域，尤其涉及对于中性密度滤光片表面质量中涉及针孔检测的渐变中性密度片针孔测试系统。

背景技术

针孔检测在工业上主要用于钢铁带材的缺陷检测，主流的检测方法见表1。光学镀膜产品大多不导磁导电，尺寸相对较小，判断标准等检测的要求和材质等的不同，光学镀膜领域目前以人工检测和机器视觉为主要检测手段，由于人工检验对人的依赖高，受个人的经验，身体状况，情绪等影响角度，而且一致性差，影响产业规模扩大，急需自动化检测来解决人工检验的问题。

表1针孔检测技术发展过程

针孔检测技术	工业应用阶段及地位	主要技术特点
人工检验时期	50-60年代，主导地位	依赖人眼及经验
电磁感应无损检测	80年代末-90年代，主导	可检测近表面针孔，精确度不高
超声无损检测	70年代初-90年代	易受外界干扰，不易实现全非接触式测量
激光扫描检测	70年代-90年代	光学系统复杂，属于机器视觉技术过渡阶段
基于机器视觉的检测	90年代至今，主导	当前主流技术，可检测表面针孔，还在进一步完善和发展

在钢带材检测大多是基于机器视觉的方法，光源采用高亮度LED，相机采集图像，数据处理模块判断处理，带材通过电机卷绕快速移动，可以实现对带材快速有效的针孔检测，如出现针孔，系统报警并停机等待处理。