[发明专利]开方机用切割装置和晶棒切割方法在审
| 申请号： | 202111617012.5 | 申请日： | 2021-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN114193643A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 吕春哲;王明;孙旭东;张艳磊;胡东亮;冯兴;郑佳凯;车美威;郭迎君 | 申请（专利权）人： | 烟台力凯数控科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 北京华专卓海知识产权代理事务所(普通合伙) 11664 | 代理人： | 张继鑫 |
| 地址： | 264006 山东省烟台市福山区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种开方机用切割装置和晶棒切割方法，包括：工作台，其包括承载待切割晶棒的工装，和带动工装进而调整待切割晶棒的角度的调整机构；工作台移动滑轨，工作台沿工作台移动滑轨的延伸方向移动，其从晶棒上下料位置延伸至晶向仪的检测位置；晶向仪，其设置于工作台移动滑轨的一侧，晶向仪的检测部与工作台的工装对应设置，在工作台经由工作台移动滑轨移动至晶向仪的检测位置时，检测承载于工装的晶棒的晶向；切割机构，其设置在工作台移动滑轨的中途，并与晶向仪离开一定距离。本发明将晶向检测、切割方向调整、晶棒切割整合为一体，操作过程简单，得到的成品晶向精确度高，工作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 开方 切割 装置 方法 | ||
【主权项】：
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