[发明专利]超声辅助去除金刚石应力的装置及方法有效

专利信息
申请号: 202111614840.3 申请日: 2021-12-24
公开(公告)号: CN114277445B 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 冯曙光;于金凤;李光存 申请(专利权)人: 安徽光智科技有限公司
主分类号: C30B33/02 分类号: C30B33/02;C30B33/00;C30B29/04;C01B32/28
代理公司: 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 代理人: 张向琨
地址: 239004 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 本公开提供了一种超声辅助去除金刚石应力的装置,包括石英管、超声发生装置、加热线圈、盖体、进气管、出气管、惰性气体源以及机械泵。石英管用于收容导体材质的与加热线圈形成电磁感应加热的物料舟,物料舟用于盛放金刚石;超声发生装置的超声出口对准石英管的内腔和物料舟;感应加热线圈围绕石英管设置在石英管的外周,盖体在石英管的上端;进气管和出气管密封穿过盖体并连通石英管的内腔。压力计设置在盖体的进气管和出气管之间的中心区域。本申请利用超声辅助去除金刚石应力的装置,将热处理与超声处理相结合,对金刚石进行处理,利用热能与超声波冲击振动为位错运动及增值提供外部动力,可较好的将金刚石内部的应力去除,减少破损率。
搜索关键词: 超声 辅助 去除 金刚石 应力 装置 方法
【主权项】:
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