[发明专利]多次加料直拉单晶生产方法、取料装置在审

专利信息
申请号: 202111594709.5 申请日: 2021-12-23
公开(公告)号: CN114481296A 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 陈红荣;张华利;赵玉兵;汪晨 申请(专利权)人: 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
主分类号: C30B15/02 分类号: C30B15/02;C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 黎金娣
地址: 221004 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种多次加料直拉单晶生产方法、取料装置。所述多次加料直拉单晶生产方法包括步骤:在连续进行多根单晶棒的拉制之后,将坩埚中的剩余埚底料部分或者全部取出;向所述坩埚中重新加入多晶硅料;所述多晶硅料熔化后,进行下一根单晶棒的拉制。上述多次加料直拉单晶生产方法在连续进行多根单晶棒的拉制之后,将坩埚中的剩余埚底料部分或者全部取出,如此,将金属杂质和碳杂质含量高的多晶硅料取出,更换新的多晶硅料,再进行下一根单晶棒的拉制,能够避免由于连续多次拉制后多晶硅料中杂质富集而导致少子寿命逐根下降、断线率增加的问题。
搜索关键词: 多次 加料 直拉单晶 生产 方法 装置
【主权项】:
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