[发明专利]一种自支撑纳米金属片及封装方法在审
申请号: | 202111593880.4 | 申请日: | 2021-12-23 |
公开(公告)号: | CN114388466A | 公开(公告)日: | 2022-04-22 |
发明(设计)人: | 唐宏浩;张学强;和巍巍;汪之涵;郑泽东;陈霏 | 申请(专利权)人: | 深圳基本半导体有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人: | 廖厚琪 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种自支撑纳米金属片,包括金属支撑骨架和金属填充物,其中,金属填充物填充于金属支撑骨架的空隙中,金属支撑骨架与金属填充物的质量比为1:2-1:10。本发明提出的自支撑纳米银片包括金属支撑骨架,以及金属填充物,在功率模块的封装过程中,利用金属支撑骨架的自支撑能力能够实现高平整无翘曲的界面连接,可应用于需要大面积、无压或者低压连接的如封装基板与底板的互连;且自支撑纳米银片由于采用银、铜等贵金属作为导热金属,与传统的锡铅焊片相比,接触热阻大大降低。 | ||
搜索关键词: | 一种 支撑 纳米 金属片 封装 方法 | ||
【主权项】:
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