[发明专利]一种启辉检测方法及装置、离子束刻蚀设备在审
| 申请号： | 202111564989.5 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN116359631A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 孙宏博;刘小波;王想;窦阳;苏炜;王智超;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R19/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳虹 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种启辉检测方法及装置、离子束刻蚀设备，可以利用探头获取对射频提供装置的电压进行检测得到检测信号，射频提供装置用于为石英桶提供射频信号，射频提供装置可以包括射频功率源和射频线圈，对射频提供装置进行检测的检测点位于射频功率源和射频线圈之间，若检测信号为正弦波，确定与射频提供装置连接的石英桶外不存在电离，若检测信号在正弦波的基础上还具有谐波或畸形波，则说明存在漏电，即可以确定与射频提供装置连接的石英桶外存在电离，这样可以通过检测信号实现对射频提供装置的电离情况进行检测，能够及时发现石英桶外的电离事件发生，也可以针对这种桶外电离做出及时的应对，因此可以更精准的控制刻蚀进程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 方法 装置 离子束 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
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