[发明专利]一种启辉检测方法及装置、离子束刻蚀设备在审
| 申请号： | 202111564989.5 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN116359631A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 孙宏博;刘小波;王想;窦阳;苏炜;王智超;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R19/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳虹 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 方法 装置 离子束 刻蚀 设备 | ||
1.一种启辉检测装置，其特征在于，包括：
探头，用于对射频提供装置的电压进行检测得到检测信号，以便在所述检测信号的波形在正弦波的基础上还具有谐波或畸形波时，确定与所述射频提供装置连接的石英桶外存在电离；所述射频提供装置包括射频电源和射频线圈，对所述射频提供装置进行检测的检测点位于所述射频电源和所述射频线圈之间。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述射频提供装置还包括连接在所述射频电源和所述射频线圈之间的射频匹配器，对所述射频提供装置进行检测的检测点位于所述射频电源和所述射频线圈之间。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述射频匹配器包括串联的匹配电感和可调电容，对所述射频提供装置进行检测的检测点位于所述匹配电感和所述可调电容之间。
4.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
上位机，用于在所述检测信号的波形在正弦波的基础上还具有谐波或畸形波时，确定与所述射频提供装置连接的石英桶外存在电离，控制所述射频电源停止提供射频信号。
5.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
示波器，用于显示所述检测信号的波形。
6.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述探头和对所述射频提供装置进行检测的检测点之间设置有分压电阻。
7.一种启辉检测方法，其特征在于，包括：
利用探头对射频提供装置的电压进行检测得到检测信号；所述射频提供装置包括射频电源和射频线圈，对所述射频提供装置进行检测的检测点位于所述射频电源和所述射频线圈之间；
若所述检测信号的波形在正弦波的基础上还具有谐波或畸形波，确定与所述射频提供装置连接的石英桶外存在电离。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述射频提供装置还包括连接在所述射频电源和所述射频线圈之间的射频匹配器，对所述射频提供装置进行检测的检测点位于所述射频电源和所述射频线圈之间。
9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述射频匹配器包括串联的匹配电感和可调电容，对所述射频提供装置进行检测的检测点位于所述匹配电感和所述可调电容之间。
10.根据权利要求7-9任一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
在确定与所述射频提供装置连接的石英桶外存在电离时，控制所述射频电源停止提供射频信号。
11.一种离子束刻蚀设备，其特征在于，包括离子源，所述离子源包括：
石英桶；
气体源，用于向所述石英桶提供工艺气体；
射频提供装置，用于产生高频交变磁场，以使所述工艺气体电离形成等离子体；
权利要求1-6任一项所述的启辉检测装置，用于对所述射频提供装置进行检测。
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