[发明专利]光学元件表面应力的测量方法以及装置在审
| 申请号： | 202111562161.6 | 申请日： | 2021-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114370962A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 程北;朱海斌 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 杜月 |
| 地址： | 314006 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提出一种光学元件表面应力的测量方法以及装置，涉及膜基结构元件的偏振、应力测量技术领域，实现测量方法的测量装置包括光源、起偏器、滤波扩束准直器、检偏器、光电探测器等；测量方法包括：获取光电探测器输出的第一信号能量；第一信号能量为光电探测器对载物台上待测元件在测量装置处于第一工况下发生的反射光进行采集而得到的信号能量；获取光电探测器输出的第二信号能量；第二信号能量为光电探测器对待测元件在测量装置处于第二工况下发生的反射光进行采集而得到的信号能量；根据第一信号能量确定第一光强分布信息，并根据第二信号能量确定第二光强分布信息；根据第一光强分布信息和第二光强分布信息，获取待测元件的表面应力信息。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 表面 应力 测量方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
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