[发明专利]光学元件表面应力的测量方法以及装置

说明书

本申请提出一种光学元件表面应力的测量方法以及装置，涉及膜基结构元件的偏振、应力测量技术领域，实现测量方法的测量装置包括光源、起偏器、滤波扩束准直器、检偏器、光电探测器等；测量方法包括：获取光电探测器输出的第一信号能量；第一信号能量为光电探测器对载物台上待测元件在测量装置处于第一工况下发生的反射光进行采集而得到的信号能量；获取光电探测器输出的第二信号能量；第二信号能量为光电探测器对待测元件在测量装置处于第二工况下发生的反射光进行采集而得到的信号能量；根据第一信号能量确定第一光强分布信息，并根据第二信号能量确定第二光强分布信息；根据第一光强分布信息和第二光强分布信息，获取待测元件的表面应力信息。

技术领域

本申请涉及膜基结构元件的偏振、应力测量技术领域，尤其涉及一种光学元件表面应力的测量方法以及装置。

背景技术

膜基结构的柔性电子器件中存在着大量高精密元件，对元件的检测和评估是保证器件膜基结构整体可靠性的关键所在。柔性电子器件一般属于膜基结构，因此在机械力评价过程中只需关注平面应力，尤其是能反映接触状态的表面应力。

发明内容

本申请提供了一种光学元件表面应力的测量方法以及装置。

根据本申请的第一方面，提供了一种光学元件表面应力的测量方法，实现所述测量方法的测量装置为基于各向异性介质菲涅尔反射公式设计的装置，所述测量装置包括光源，沿所述光源输出的光路方向依次为起偏器、滤波扩束准直器、分光器、载物台、成像透镜、检偏器、光电探测器；所述测量方法包括：

获取所述光电探测器输出的第一信号能量；所述第一信号能量为所述光电探测器对所述载物台上待测元件在所述测量装置处于第一工况下发生的反射光进行采集而得到的信号能量；

获取所述光电探测器输出的第二信号能量；所述第二信号能量为所述光电探测器对所述待测元件在所述测量装置处于第二工况下发生的反射光进行采集而得到的信号能量；

根据所述第一信号能量确定第一光强分布信息，并根据所述第二信号能量确定第二光强分布信息；

根据所述第一光强分布信息和所述第二光强分布信息，获取所述待测元件的表面应力信息。

根据本申请的第二方面，提供了一种光学元件表面应力的测量装置，包括光源，沿所述光源输出的光路方向依次为起偏器、滤波扩束准直器、分光器、载物台、成像透镜、检偏器、光电探测器；其中，所述测量装置还包括：

与所述光电探测器连接的控制模块，所述控制模块上存储有计算机程序，所述计算机程序被执行时能够执行前述第一方面所述的方法。

根据本申请的第三方面，提供了一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时，能够执行前述第一方面所述的方法。

根据本申请的第四方面，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时能够执行前述第一方面所述的方法。

根据本申请的技术方案，通过获取第一工况下光电探测器输出的第一信号能量和第二工况下光电探测器输出的第二信号能量，利用该第一信号能量和第二信号能量确定待测元件面应力信息，保证了在计算待测元件表面应力的时候不会引入待测元件面型变化带来的应力信息，使得测量过程能够更加直接得出相关数据，减少了实验次数，提高了测量的效率，避免了多次测量引起的角度误差，保证了测量结果的准确性，并且测量过程中对环境要求较低，光路结构和数据记录过程简单，操作难度低。

附图说明

本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本申请实施例提供的一种光学元件表面应力的测量方法的流程图；