[发明专利]一种用于MOCVD设备的旋转系统及MOCVD设备

摘要

本发明提供一种用于MOCVD设备的旋转系统及MOCVD设备，该旋转系统包括：桶状壳体，与反应腔本体连接，且桶状壳体用于封堵反应腔本体的底部敞口，桶状壳体包括顶板及周向侧壁，周向侧壁上具有环形槽，环形槽将桶状壳体的上半部周向侧壁分隔为上半部内侧壁和上半部外侧壁；磁悬浮电机，包括定子及转子，定子套置在桶状壳体的周向侧壁外则，转子嵌设在周向侧壁的环形槽内，且上半部外侧壁为定子与转子之间的隔板；旋转筒，用于设置在反应腔本体的中空腔体内，且旋转筒与转子同步旋转；托盘，用于设置在反应腔本体的中空腔体内，且托盘位于所述旋转筒顶部，托盘与旋转筒同步旋转；加热组件，用于设置在反应腔本体的中空腔体内，且加热组件位于托盘的下方。