[发明专利]一种微结构柔性压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111539750.2 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN114184307A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 韩燕坤;陈明;杨春雷;张远奥;武双元 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;G01L9/00;C25D13/12;C25D13/02;C25D13/22;C01B32/168;C01B32/194 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;黄进 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微结构柔性压力传感器及其制备方法，所述柔性压力传感器包括叠层设置的两个以上的压力传感层，所述压力传感层为包括纤维布基体以及沉积在所述纤维布基体表面的纳米导电材料；所述制备方法包括以下步骤：配制纳米导电材料分散液；将所述纤维布基体浸入所述纳米导电材料分散液中，通过电沉积工艺使所述纳米导电材料沉积在所述纤维布基体表面；对进行电沉积后的所述纤维布基体干燥处理，制备获得压力传感层；将两个以上的所述压力传感层叠层封装并引出电极，制备获得所述微结构柔性压力传感器。本发明提供的微结构柔性压力传感器，采用叠层设置的两个以上压力传感层，提升了微结构压力传感器的灵敏度并具有更宽的线性范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微结构 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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